ISO 16242:2011
(Main)Surface chemical analysis — Recording and reporting data in Auger electron spectroscopy (AES)
Surface chemical analysis — Recording and reporting data in Auger electron spectroscopy (AES)
ISO 16242:2011 specifies the minimum level of information to be reported by the analyst following the analysis of a test specimen using Auger electron spectroscopy (AES). It includes information that is to be recorded on or in the analytical record.
Analyse chimique des surfaces — Enregistrement et notification des données en spectroscopie des électrons Auger (AES)
L'ISO 16242:2011 spécifie le niveau minimal d'informations que l'analyste doit communiquer à la suite de l'analyse d'un échantillon par spectroscopie des électrons Auger (AES). Elle comprend les informations qui doivent être communiquées sur ou dans le rapport d'analyse.
General Information
Buy Standard
Standards Content (Sample)
INTERNATIONAL ISO
STANDARD 16242
First edition
2011-12-01
Surface chemical analysis — Recording
and reporting data in Auger electron
spectroscopy (AES)
Analyse chimique des surfaces — Enregistrement et notification des
données en spectroscopie des électrons Auger (AES)
Reference number
ISO 16242:2011(E)
©
ISO 2011
---------------------- Page: 1 ----------------------
ISO 16242:2011(E)
COPYRIGHT PROTECTED DOCUMENT
© ISO 2011
All rights reserved. Unless otherwise specified, no part of this publication may be reproduced or utilized in any form or by any means,
electronic or mechanical, including photocopying and microfilm, without permission in writing from either ISO at the address below or ISO’s
member body in the country of the requester.
ISO copyright office
Case postale 56 • CH-1211 Geneva 20
Tel. + 41 22 749 01 11
Fax + 41 22 749 09 47
E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Published in Switzerland
ii © ISO 2011 – All rights reserved
---------------------- Page: 2 ----------------------
ISO 16242:2011(E)
Contents Page
Foreword . v
Introduction .vi
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1
4 Symbols and abbreviated terms . 1
5 Levels of recording and reporting . 2
5.1 General . 2
5.2 Analyst’s record . 2
5.3 Spectra . 3
5.4 Quantitative information . 3
5.5 Compositional depth profiles . 4
5.6 Maps and linescans . 4
5.7 Chemical-state data . 5
6 Release of data to the customer . 5
Annex A (informative) Examples of spectra . 6
Bibliography .10
© ISO 2011 – All rights reserved iii
---------------------- Page: 3 ----------------------
ISO 16242:2011(E)
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies
(ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO
technical committees. Each member body interested in a subject for which a technical committee has been
established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and
non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the International
Electrotechnical Commission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization.
International Standards are drafted in accordance with the rules given in the ISO/IEC Directives, Part 2.
The main task of technical committees is to prepare International Standards. Draft International Standards
adopted by the technical committees are circulated to the member bodies for voting. Publication as an
International Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies casting a vote.
Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this document may be the subject of patent
rights. ISO shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights.
ISO 16242 was prepared by Technical Committee ISO/TC 201, Surface chemical analysis, Subcommittee
SC 2, General procedures.
iv © ISO 2011 – All rights reserved
---------------------- Page: 4 ----------------------
ISO 16242:2011(E)
Introduction
Auger electron spectroscopy is used for experimental and routine surface analysis of a wide range of test
specimen types. The results of the analysis should be recorded in a standard format that should include
sufficient detail to allow the experiment to be repeated. This material should be available for reporting, as
required.
Experimental conditions and data acquisition parameters should be included so that the quality of the data can
be assessed.
© ISO 2011 – All rights reserved v
---------------------- Page: 5 ----------------------
INTERNATIONAL STANDARD ISO 16242:2011(E)
Surface chemical analysis — Recording and reporting data in
Auger electron spectroscopy (AES)
1 Scope
This International Standard specifies the minimum level of information to be reported by the analyst following
the analysis of a test specimen using Auger electron spectroscopy (AES). It includes information that is to be
recorded on or in the analytical record.
2 Normative references
The following referenced documents are indispensable for the application of this document. For dated
references, only the edition cited applies. For undated references, the latest edition of the referenced document
(including any amendments) applies.
ISO 17973, Surface chemical analysis — Medium-resolution Auger electron spectrometers — Calibration of
energy scales for elemental analysis
ISO 17974, Surface chemical analysis — High-resolution Auger electron spectrometers — Calibration of
energy scales for elemental and chemical-state analysis
ISO 18115-1, Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy
3 Terms and definitions
For the purposes of this document, the terms and definitions given in ISO 18115-1 and the following apply.
3.1
ex situ
outside the analytical system
3.2
in situ
inside the analytical system
4 Symbols and abbreviated terms
AES Auger electron spectroscopy
KLL shorthand notation for an Auger line resulting from an electron hole in the K shell, electron transfer
from the L shell to the K shell vacancy and simultaneous emission of the Auger electron from the
L shell
KVV shorthand notation for an Auger line resulting from an electron hole in the K shell, electron transfer
from a valence band (“V”) to the K shell vacancy and simultaneous emission of the Auger electron
from the valence band
Similar notation is used for the L, M and further Auger series.
© ISO 2011 – All rights reserved 1
---------------------- Page: 6 ----------------------
ISO 16242:2011(E)
5 Levels of recording and reporting
5.1 General
This International Standard defines the minimum level of information that shall be recorded and reported by
an analyst following the analysis of a test specimen using AES. The levels of recording and reporting are
separated into six main areas:
a) the analyst’s record book or electronic log (e.g. computer data-storage system);
b) spectra;
c) quantitative analysis of the specimen;
d) compositional depth profiles;
e) element maps, linescans or images;
f) chemical information obtained from the specimen.
5.2 Analyst’s record
5.2.1 Specimen identification and preparation
For each individual specimen, the record book or electronic log shall contain the following information (sufficient
information shall be recorded to allow the measurements to be repeated at a later date):
a) the name and contact address of the laboratory or the individual providing the specimen, with electronic
address and telephone number when available;
b) a unique specimen number;
c) a description of the specimen before and after analysis (including details of its physical appearance, its
roughness, its colour and any other distinguishing features);
d) the date of the measurement(s);
e) the name of the analyst, and the analyst’s department and affiliation;
f) all details concerning ex situ specimen preparation before analysis (including details of the method of
mounting by tape or clip, the orientation on the specimen holder with respect to any specific surface
features, whether the specimen was cut and, if so, how, details of any solvent-cleaning, etc.) (see NOTE 1);
g) all details concerning in situ specimen preparation before analysis (relevant details include inert ion
cleaning, specimen heating, fracture, etc.) (see NOTE 2).
NOTE 1 Guidelines for preparation and mounting of specimens are given in ISO 18116.
NOTE 2 Handling of specimens prior to analysis is described in ISO 18117.
5.2.2 Analytical conditions
A detailed list of the analytical conditions shall be recorded in the record book and/or the electronic log (sufficient
information shall be recorded to allow the measurements to be repeated at a later date). The information shall
include:
a) the name or identification of the equipment used;
b) the primary electron beam energy and the angle of incidence;
c) the specimen current or beam current;
2 © ISO 2011 – All rights reserved
---------------------- Page: 7 ----------------------
ISO 16242:2011(E)
d) the type of detector, the number of detectors and, in the case of multichannel detectors, the working mode;
e) the analyser energy resolution;
f) the spectrometer ret
...
NORME ISO
INTERNATIONALE 16242
Première édition
2011-12-01
Analyse chimique des surfaces —
Enregistrement et notification des
données en spectroscopie des
électrons Auger (AES)
Surface chemical analysis — Recording and reporting data in Auger
electron spectroscopy (AES)
Numéro de référence
ISO 16242:2011(F)
©
ISO 2011
---------------------- Page: 1 ----------------------
ISO 16242:2011(F)
DOCUMENT PROTÉGÉ PAR COPYRIGHT
© ISO 2011
Droits de reproduction réservés. Sauf prescription différente, aucune partie de cette publication ne peut être reproduite ni utilisée sous
quelque forme que ce soit et par aucun procédé, électronique ou mécanique, y compris la photocopie et les microfilms, sans l’accord écrit
de l’ISO à l’adresse ci-après ou du comité membre de l’ISO dans le pays du demandeur.
ISO copyright office
Case postale 56 • CH-1211 Geneva 20
Tel. + 41 22 749 01 11
Fax + 41 22 749 09 47
E-mail copyright@iso.org
Web www.iso.org
Version française parue en 2012
Publié en Suisse
ii © ISO 2011 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 2 ----------------------
ISO 16242:2011(F)
Sommaire Page
Avant-propos .iv
Introduction . v
1 Domaine d’application . 1
2 Références normatives . 1
3 Termes et définitions . 1
4 Symboles et termes abrégés . 1
5 Niveaux d’enregistrement et de notification . 2
5.1 Généralités . 2
5.2 Enregistrement de l’analyste . 2
5.3 Spectres . 3
5.4 Informations quantitatives . 4
5.5 Profils de composition en profondeur . 4
5.6 Cartographies et balayages en ligne (profils en ligne) . 5
5.7 Données relatives à l’état chimique . 5
6 Délivrance des données au client . 5
Annexe A (informative) Exemples de spectres . 6
Bibliographie .10
© ISO 2011 – Tous droits réservés iii
---------------------- Page: 3 ----------------------
ISO 16242:2011(F)
Avant-propos
L’ISO (Organisation internationale de normalisation) est une fédération mondiale d’organismes nationaux de
normalisation (comités membres de l’ISO). L’élaboration des Normes internationales est en général confiée aux
comités techniques de l’ISO. Chaque comité membre intéressé par une étude a le droit de faire partie du comité
technique créé à cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non gouvernementales,
en liaison avec l’ISO participent également aux travaux. L’ISO collabore étroitement avec la Commission
électrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne la normalisation électrotechnique.
Les Normes internationales sont rédigées conformément aux règles données dans les Directives ISO/CEI, Partie 2.
La tâche principale des comités techniques est d’élaborer les Normes internationales. Les projets de Normes
internationales adoptés par les comités techniques sont soumis aux comités membres pour vote. Leur publication
comme Normes internationales requiert l’approbation de 75 % au moins des comités membres votants.
L’attention est appelée sur le fait que certains des éléments du présent document peuvent faire l’objet de droits
de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’ISO ne saurait être tenue pour responsable de ne pas avoir
identifié de tels droits de propriété et averti de leur existence.
L’ISO 16242 a été élaborée par le comité technique ISO/TC 201, Analyse chimique des surfaces, sous-comité
SC 2, Procédures générales.
iv © ISO 2011 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 4 ----------------------
ISO 16242:2011(F)
Introduction
La spectroscopie des électrons Auger est utilisée pour l’analyse expérimentale et l’analyse de routine d’un
large éventail de types d’échantillon. Il est recommandé d’enregistrer les résultats de l’analyse dans un
format normalisé incluant suffisamment de détails pour permettre de répéter l’expérience. Il convient que ces
informations soient disponibles pour la rédaction d’un rapport, selon ce qui est exigé.
Il convient d’inclure les conditions expérimentales et les paramètres d’acquisition des données de sorte que la
qualité des données puisse être évaluée.
© ISO 2011 – Tous droits réservés v
---------------------- Page: 5 ----------------------
NORME INTERNATIONALE ISO 16242:2011(F)
Analyse chimique des surfaces — Enregistrement et notification
des données en spectroscopie des électrons Auger (AES)
1 Domaine d’application
La présente Norme internationale spécifie le niveau minimal d’informations que l’analyste doit communiquer
à la suite de l’analyse d’un échantillon par spectroscopie des électrons Auger (AES). Elle comprend les
informations qui doivent être communiquées sur ou dans le rapport d’analyse.
2 Références normatives
Les documents de référence suivants sont indispensables pour l’application du présent document. Pour les
références datées, seule l’édition citée s’applique. Pour les références non datées, la dernière édition du
document de référence s’applique (y compris les éventuels amendements).
ISO 17973, Analyse chimique des surfaces — Spectromètres d’électrons Auger à résolution moyenne —
Étalonnage des échelles d’énergie pour l’analyse élémentaire
ISO 17974, Analyse chimique des surfaces — Spectromètres d’électrons Auger à haute résolution — Étalonnage
des échelles d’énergie pour l’analyse élémentaire et de l’état chimique
ISO 18115-1, Analyse chimique des surfaces — Vocabulaire — Partie 1: Termes généraux et termes utilisés
en spectroscopie
3 Termes et définitions
Pour les besoins du présent document, les termes et définitions donnés dans l’ISO 18115-1 ainsi que les
suivants s’appliquent.
3.1
ex situ
en dehors du système analytique
3.2
in situ
à l’intérieur du système analytique
4 Symboles et termes abrégés
AES spectroscopie des électrons Auger
KLL notation abrégée pour une raie Auger résultant d’un trou électronique dans la couche K, d’un transfert
électronique de la couche L à la lacune de la couche K et d’une émission simultanée de l’électron
Auger de la couche L
KVV notation abrégée pour une raie Auger résultant d’un trou électronique dans la couche K, d’un transfert
électronique d’une bande de valence («V») à la lacune de la couche K et d’une émission simultanée
de l’électron Auger de la bande de valence
Une notation similaire est utilisée pour les séries L et M, ainsi que pour les autres séries Auger.
© ISO 2011 – Tous droits réservés 1
---------------------- Page: 6 ----------------------
ISO 16242:2011(F)
5 Niveaux d’enregistrement et de notification
5.1 Généralités
La présente Norme internationale définit le niveau minimal d’informations qu’un analyste doit enregistrer et
communiquer à la suite de l’analyse d’un échantillon par AES. Les niveaux d’enregistrement et de notification
sont répartis en six domaines principaux:
a) registre d’enregistrement ou journal électronique de l’analyste (par exemple système informatique de
stockage des données);
b) spectres;
c) analyse quantitative de l’échantillon;
d) profils de composition en profondeur;
e) cartographies élémentaires, balayages en ligne ou images;
f) informations chimiques obtenues à partir de l’échantillon.
5.2 Enregistrement de l’analyste
5.2.1 Identification et préparation de l’échantillon
Pour chaque échantillon individuel, le registre d’enregistrement ou le journal électronique doivent contenir les
informations suivantes (des informations suffisantes doivent être enregistrées pour permettre de répéter les
mesures à une date ultérieure):
a) nom et coordonnées du laboratoire ou de la personne qui a fourni l’échantillon, avec adresse électronique
et numéro de téléphone le cas échéant;
b) numéro d’échantillon unique;
c) description de l’échantillon avant et après l’analyse (y compris les détails relatifs à son aspect physique,
sa rugosité, sa couleur et toute autre caractéristique de différenciation);
d) date de la ou des mesure(s);
e) nom de l’analyste, département et affiliation de l’analyste;
f) tous les détails concernant la préparation ex situ de l’échantillon avant l’analyse (y compris les détails
relatifs à la méthode de montage à l’aide d’une bande adhésive ou d’un clip, l’orientation sur le porte-
échantillon par rapport à une quelconque caractéristique spécifique de surface, si l’échantillon a été
coupé, et si c’est le cas, comment, s’il a été nettoyé avec un solvant, etc.) (voir Note 1);
g) tous les détails concernant la préparation in situ de l’échantillon avant l’analyse (les détails pertinents
comprennent le nettoyage par pulvérisation d’ions de gaz inerte, le chauffage de l’échantillon, la fracture,
etc.) (voir Note 2).
NOTE 1 Des lignes directrices relatives à la préparation et au montage des échantillons sont données dans l’ISO 18116.
NOTE 2 La manipulation des échantillons avant l’analyse est décrite dans l’ISO 18117.
5.2.2 Conditions analytiques
Une liste détaillée des conditions analytiques doit être enregistrée dans le registre d’enregistrement et/ou
le journal électronique (des informations suffisantes doivent être enregistrées pour permettre de répéter les
mesures à une date ultérieure). Les informations suivantes doivent y figurer:
a) nom ou identification de l’appareil utilisé;
2 © ISO 2011 – Tous droits réservés
---------------------- Page: 7 ----------------------
ISO 16242:2011(F)
b) énergie du faisceau d’électrons primaires, et angle d’incidence;
c) courant d’échantillon ou courant de faisceau;
d) type de détecteur, nombre de détecteurs et, dans le cas de détecteurs multicanaux, mode de travail;
e) résolution en énergie de l’analyseur;
f) facteur de retard du spectromètre ou énergie de passage, et largeur de la fente, le cas échéant;
g) angle d’émergence utilisé pour la mesure;
h) pression de la chambre d’analyse avant et pendant l’analyse;
i) diamètre du faisceau dans les conditions analytiques si cela est pertinent pour l’analyse, par exemple pour
l’imagerie
...
Questions, Comments and Discussion
Ask us and Technical Secretary will try to provide an answer. You can facilitate discussion about the standard in here.