International Electrotechnical Vocabulary (IEV) - Part 523: Micro-electromechanical devices

IEC 60050-523:2018 gives the general terminology used for micro-electromechanical devices including the process of production of such devices. This terminology is consistent with the terminology developed in the other specialized parts of the IEV.
It has the status of a horizontal standard in accordance with IEC Guide 108.

Vocabulaire Electrotechnique International (IEV) - Partie 523: Dispositifs microélectromécaniques

IEC 60050-523:2018 donne la terminologie générale utilisée pour les dispositifs microélectromécaniques en incluant le procédé de production de ces dispositifs. Cette terminologie est en accord avec la terminologie figurant dans les autres parties spécialisées de l'IEV.
Elle a le statut de norme horizontale conformément au Guide IEC 108.

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Publication Date
05-Dec-2018
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PPUB - Publication issued
Start Date
29-Nov-2018
Completion Date
06-Dec-2018
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IEC 60050-523:2018 - International Electrotechnical Vocabulary (IEV) - Part 523: Micro-electromechanical devices
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IEC 60050-523
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Edition 1.0 2018-12
INTERNATIONAL
STANDARD
NORME
INTERNATIONALE
HORIZONTAL STANDARD
NORME HORIZONTALE
International Electrotechnical Vocabulary (IEV) –
Part 523: Micro-electromechanical devices

Vocabulaire Electrotechnique International (IEV) –
Partie 523: Dispositifs microélectromécaniques

IEC 60050-523:2018-12(en-fr)

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Technical Specifications, Technical Reports and other English and French, with equivalent terms in 16 additional
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committee,…). It also gives information on projects, replaced IEC publications issued since 2002. Some entries have been
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Le premier dictionnaire en ligne de termes électroniques et
bibliographiques sur les Normes internationales,
électriques. Il contient 21 000 termes et définitions en anglais
Spécifications techniques, Rapports techniques et autres
et en français, ainsi que les termes équivalents dans 16
documents de l'IEC. Disponible pour PC, Mac OS, tablettes
langues additionnelles. Egalement appelé Vocabulaire
Android et iPad.
Electrotechnique International (IEV) en ligne.


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La recherche avancée permet de trouver des publications IEC et en français, extraites des articles Termes et Définitions des
en utilisant différents critères (numéro de référence, texte, publications IEC parues depuis 2002. Plus certaines entrées
comité d’études,…). Elle donne aussi des informations sur les antérieures extraites des publications des CE 37, 77, 86 et
projets et les publications remplacées ou retirées. CISPR de l'IEC.

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IEC 60050-523

®


Edition 1.0 2018-12




INTERNATIONAL



STANDARD




NORME



INTERNATIONALE




HORIZONTAL STANDARD

NORME HORIZONTALE




International Electrotechnical Vocabulary (IEV) –

Part 523: Micro-electromechanical devices




Vocabulaire Electrotechnique International (IEV) –

Partie 523: Dispositifs microélectromécaniques
















INTERNATIONAL

ELECTROTECHNICAL

COMMISSION


COMMISSION

ELECTROTECHNIQUE


INTERNATIONALE




ICS 01.040.29; 31.080.99 ISBN 978-2-8322-6265-8




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Marque déposée de la Commission Electrotechnique Internationale

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– II – IEC 60050-523:2018 © IEC 2018

CONTENTS

FOREWORD . IV
INTRODUCTION Principles and rules followed . VIII
1 Scope . 1
2 Normative references . 1
3 Terms and definitions . 1

Section 523-01 – General . 3
Section 523-02 – Science and engineering . 5
Section 523-03 – Material science . 9
Section 523-04 – Functional elements . 17
Section 523-05 – Machining technology . 30
Section 523-06 – Bonding and assembling technology . 42
Section 523-07 – Measurement technology . 48
Section 523-08 – Application technology . 51

INDEX . 57

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IEC 60050-523:2018 © IEC 2018 – III –
SOMMAIRE

AVANT-PROPOS . VI
INTRODUCTION Principes d’établissement et règles suivies . XI
1 Domaine d’application . 2
2 Références normatives . 2
3 Termes et définitions . 2

Section 523-01 – Généralités . 3
Section 523-02 – Sciences et techniques . 5
Section 523-03 – Science des matériaux . 9
Section 523-04 – Eléments fonctionnels . 17
Section 523-05 – Techniques d'usinage . 30
Section 523-06 – Technologies de collage et d'assemblage . 42
Section 523-07 – Technologies de mesure . 48
Section 523-08 – Technologies d'application . 51

INDEX . 57

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– IV – IEC 60050-523:2018 © IEC 2018
INTERNATIONAL ELECTROTECHNICAL COMMISSION
_______________

INTERNATIONAL ELECTROTECHNICAL VOCABULARY (IEV) –

Part 523: Micro-electromechanical devices

FOREWORD
1) The International Electrotechnical Commission (IEC) is a worldwide organization for standardization comprising
all national electrotechnical committees (IEC National Committees). The object of IEC is to promote
international co-operation on all questions concerning standardization in the electrical and electronic fields. To
this end and in addition to other activities, IEC publishes International Standards, Technical Specifications,
Technical Reports, Publicly Available Specifications (PAS) and Guides (hereafter referred to as "IEC
Publication(s)"). Their preparation is entrusted to technical committees; any IEC National Committee interested
in the subject dealt with may participate in this preparatory work. International, governmental and non-
governmental organizations liaising with the IEC also participate in this preparation. IEC collaborates closely
with the International Organization for Standardization (ISO) in accordance with conditions determined by
agreement between the two organizations.
2) The formal decisions or agreements of IEC on technical matters express, as nearly as possible, an international
consensus of opinion on the relevant subjects since each technical committee has representation from all
interested IEC National Committees.
3) IEC Publications have the form of recommendations for international use and are accepted by IEC National
Committees in that sense. While all reasonable efforts are made to ensure that the technical content of IEC
Publications is accurate, IEC cannot be held responsible for the way in which they are used or for any
misinterpretation by any end user.
4) In order to promote international uniformity, IEC National Committees undertake to apply IEC Publications
transparently to the maximum extent possible in their national and regional publications. Any divergence
between any IEC Publication and the corresponding national or regional publication shall be clearly indicated in
the latter.
5) IEC itself does not provide any attestation of conformity. Independent certification bodies provide conformity
assessment services and, in some areas, access to IEC marks of conformity. IEC is not responsible for any
services carried out by independent certification bodies.
6) All users should ensure that they have the latest edition of this publication.
7) No liability shall attach to IEC or its directors, employees, servants or agents including individual experts and
members of its technical committees and IEC National Committees for any personal injury, property damage or
other damage of any nature whatsoever, whether direct or indirect, or for costs (including legal fees) and
expenses arising out of the publication, use of, or reliance upon, this IEC Publication or any other IEC
Publications.
8) Attention is drawn to the Normative references cited in this publication. Use of the referenced publications is
indispensable for the correct application of this publication.
9) Attention is drawn to the possibility that some of the elements of this IEC Publication may be the subject of
patent rights. IEC shall not be held responsible for identifying any or all such patent rights.
International Standard IEC 60050-523 has been prepared by IEC technical committee 1:
Terminology.
This first edition comprises terminology formerly published in IEC 62047-1:2016,
IEC 62047-6:2009, IEC 62047-8:2011, IEC 62047-12:2011, IEC 62047-13:2012,
IEC 62047-14:2012, IEC 62047-15:2015, IEC 62047-16:2015, IEC 62047-17:2015,
IEC 62047-19:2013 and IEC 62047-22:2014 and selected and reviewed by IEC subcommittee
47F: Microelectromechanical systems, of IEC technical committee 47: Semiconductor devices,
and IEC technical committee 1: Terminology, as change request C00040 for inclusion in the
International Electrotechnical Vocabulary.
This publication was developed in accordance with the ISO/IEC Directives, Part 1, IEC
Supplement, Annexes SK and SL, and was approved by the validation team of IEC technical
committee 1: Terminology, under the normal database procedure.

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IEC 60050-523:2018 © IEC 2018 – V –
A list of all parts of the IEC 60050 series, published under the general title International
Electrotechnical Vocabulary can be found on the IEC website and is available at
www.electropedia.org.
All parts of the IEC 60050 series have the status of a horizontal standard in accordance with
IEC Guide 108.

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– VI – IEC 60050-523:2018 © IEC 2018
COMMISSION ÉLECTROTECHNIQUE INTERNATIONALE
________________

VOCABULAIRE ÉLECTROTECHNIQUE INTERNATIONAL (IEV) –

Partie 523: Dispositifs microélectromécaniques

AVANT-PROPOS
1) La Commission Electrotechnique Internationale (IEC) est une organisation mondiale de normalisation
composée de l'ensemble des comités électrotechniques nationaux (Comités nationaux de l’IEC). L’IEC a pour
objet de favoriser la coopération internationale pour toutes les questions de normalisation dans les domaines
de l'électricité et de l'électronique. A cet effet, l’IEC – entre autres activités – publie des Normes
internationales, des Spécifications techniques, des Rapports techniques, des Spécifications accessibles au
public (PAS) et des Guides (ci-après dénommés "Publication(s) de l’IEC"). Leur élaboration est confiée à des
comités d'études, aux travaux desquels tout Comité national intéressé par le sujet traité peut participer. Les
organisations internationales, gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec l’IEC, participent
également aux travaux. L’IEC collabore étroitement avec l'Organisation Internationale de Normalisation (ISO),
selon des conditions fixées par accord entre les deux organisations.
2) Les décisions ou accords officiels de l’IEC concernant les questions techniques représentent, dans la mesure
du possible, un accord international sur les sujets étudiés, étant donné que les Comités nationaux de l’IEC
intéressés sont représentés dans chaque comité d’études.
3) Les Publications de l’IEC se présentent sous la forme de recommandations internationales et sont agréées
comme telles par les Comités nationaux de l’IEC. Tous les efforts raisonnables sont entrepris afin que l’IEC
s'assure de l'exactitude du contenu technique de ses publications; l’IEC ne peut pas être tenue responsable de
l'éventuelle mauvaise utilisation ou interprétation qui en est faite par un quelconque utilisateur final.
4) Dans le but d'encourager l'uniformité internationale, les Comités nationaux de l’IEC s'engagent, dans toute la
mesure possible, à appliquer de façon transparente les Publications de l’IEC dans leurs publications nationales
et régionales. Toutes divergences entre toutes Publications de l’IEC et toutes publications nationales ou
régionales correspondantes doivent être indiquées en termes clairs dans ces dernières.
5) L’IEC elle-même ne fournit aucune attestation de conformité. Des organismes de certification indépendants
fournissent des services d'évaluation de conformité et, dans certains secteurs, accèdent aux marques de
conformité de l’IEC. L’IEC n'est responsable d'aucun des services effectués par les organismes de certification
indépendants.
6) Tous les utilisateurs doivent s'assurer qu'ils sont en possession de la dernière édition de cette publication.
7) Aucune responsabilité ne doit être imputée à l’IEC, à ses administrateurs, employés, auxiliaires ou
mandataires, y compris ses experts particuliers et les membres de ses comités d'études et des Comités
nationaux de l’IEC, pour tout préjudice causé en cas de dommages corporels et matériels, ou de tout autre
dommage de quelque nature que ce soit, directe ou indirecte, ou pour supporter les coûts (y compris les frais
de justice) et les dépenses découlant de la publication ou de l'utilisation de cette Publication de l’IEC ou de
toute autre Publication de l’IEC, ou au crédit qui lui est accordé.
8) L'attention est attirée sur les références normatives citées dans cette publication. L'utilisation de publications
référencées est obligatoire pour une application correcte de la présente publication.
9) L’attention est attirée sur le fait que certains des éléments de la présente Publication de l’IEC peuvent faire
l’objet de droits de propriété intellectuelle ou de droits analogues. L’IEC ne saurait être tenue pour responsable
de ne pas avoir identifié de tels droits de propriété et de ne pas avoir signalé leur existence.
La Norme internationale IEC 60050-523 a été établie par le comité d'études 1 de l’IEC:
Terminologie.
Cette première édition comprend la terminologie publiée auparavant dans IEC 62047-1:2016,
IEC 62047-6:2009, IEC 62047-8:2011, IEC 62047-12:2011, IEC 62047-13:2012,
IEC 62047-14:2012, IEC 62047-15:2015, IEC 62047-16:2015, IEC 62047-17:2015,
IEC 62047-19:2013 and IEC 62047-22:2014, et passée en revue par le sous-comité 47F:
Systèmes microélectromécaniques, du comité d'études 47 de l’IEC: Dispositifs à
semiconducteurs, et le comité d'études 1 de l’IEC: Terminologie, en tant que "change
request" C00040 pour inclusion dans le Vocabulaire Electrotechnique International.
Cette publication a été développée en conformité avec les Annexes SK et SL du Supplément
IEC aux Directives ISO/IEC, Partie 1, et a été approuvée par l’équipe de validation du comité
d'études 1 de l’IEC: Terminologie, selon la procédure base de données "normale".

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IEC 60050-523:2018 © IEC 2018 – VII –
Une liste de toutes les parties de la série IEC 60050, publiée sous le titre général Vocabulaire
Electrotechnique International, peut être consultée sur le site web de l’IEC et est disponible à
l’adresse www.electropedia.org.
Toutes les parties de la série IEC 60050 ont le statut d'une norme horizontale conformément
au Guide IEC 108.

---------------------- Page: 9 ----------------------
– VIII – IEC 60050-523:2018 © IEC 2018
INTRODUCTION
Principles and rules followed
General
The IEV (IEC 60050, International Electrotechnical Vocabulary) is a general purpose
multilingual vocabulary covering the field of electrotechnology, electronics and
telecommunication (available at www.electropedia.org). It comprises about 22 000
terminological entries, each corresponding to a concept. These terminological entries are
distributed among about 90 parts, each part corresponding to a given field.
EXAMPLE
Part 161 (IEC 60050-161): Electromagnetic compatibility
Part 411 (IEC 60050-411): Rotating machines
The terminological entries follow a hierarchical classification scheme part/section/concept;
within the sections, the terminological entries are organized in a systematic order.
The terms and definitions (and possibly non-verbal representations, examples, notes to entry
and sources) in the entries are given in two or more of the three IEC languages, that is
French, English and Russian (principal IEV languages).
In each terminological entry, the terms alone are also given in several of the additional IEV
languages [Arabic (ar), Czech (cs), German (de), Spanish (es), Finnish (fi), Italian (it),
Japanese (ja), Korean (ko), Norwegian [Bokmål (nb) and Nynorsk (nn)], Polish (pl),
Portuguese (pt), Slovenian (sl), Serbian (sr), Swedish (sv) and Chinese (zh)].
Information regarding the IEV and the drafting and presentation of the terminological entries
is provided in the IEC Supplement to the ISO/IEC Directives, Annex SK. The following
constitutes a summary of these rules.
Organization of a terminological entry
Each of the terminological entries corresponds to a concept, and comprises:
- an IEV number,
- possibly a letter symbol for the quantity or unit,
then, for the principal IEV languages present in the part:
- the term designating the concept, called "preferred term", possibly accompanied by
synonyms and abbreviations,
- the definition of the concept,
- possibly non-verbal representations, examples and notes to entry,
- possibly the source,
and finally, for the additional IEV languages, the terms alone.

---------------------- Page: 10 ----------------------
IEC 60050-523:2018 © IEC 2018 – IX –
IEV number
The IEV number is comprised of three elements, separated by hyphens:
part number: 3 digits,
section number: 2 digits,
entry number: sequence of decimal digits in which leading zeroes are permissible but
redundant (e.g. 1 to 113, 01 to 99, 001 to 127).
EXAMPLE  845-27-003
Letter symbols for quantities and units
These symbols, which are language independent, are given on a separate line following the
IEV number.
EXAMPLE
131-12-04
R
resistance
Preferred term and synonyms
The preferred term is the term that heads a terminological entry in a given language; it can be
followed by synonyms. It is printed in boldface.
Synonyms:
The synonyms are printed on separate lines under the preferred term: preferred synonyms are
printed in boldface, admitted and and deprecated synonyms are printed in lightface.
Deprecated synonyms are prefixed by the text "DEPRECATED:".
Absence of an appropriate term:
When no appropriate term exists in a given language, the preferred term is replaced by five
dots, as follows:
.....
" " (and there are of course no synonyms).
Attributes
Each term (and synonym) can be followed by attributes giving additional information, and
printed in lightface on the same line as the corresponding term, following this term.
EXAMPLE
specific use of the term:
transmission line,

---------------------- Page: 11 ----------------------
– X – IEC 60050-523:2018 © IEC 2018
national variant:
lift, GB
grammatical information:
quantize, verb
transient, noun
AC, adj
Source
In some cases, it has been necessary to include in an IEV part a concept taken from another
IEV part, or from another authoritative terminology document (ISO/IEC Guide 99,
ISO/IEC 2382, etc.), either with or without modification to the definition (and possibly to the
term).
This is indicated by the mention of this source, printed in lightface, and placed at the end of
the terminological entry in each of the principal IEV languages present.
EXAMPLE  SOURCE: IEC 60050-131:2002, 131-03-13, modified
Terms in additional IEV languages
These terms are placed following the terminological entries in the principal IEV languages, on
separate lines (a single line for each language), preceded by the alpha-2 code for the
language defined in ISO 639-1, and in the alphabetic order of this code.

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IEC 60050-523:2018 © IEC 2018 – XI –
INTRODUCTION
Principes d’établissement et règles suivies
Généralités
L'IEV (IEC 60050 – Vocabulaire Electrotechnique International) est un vocabulaire multilingue
à usage général couvrant le champ de l’électrotechnique, de l’électronique et des
télécommunications (disponible à l’adresse www.electropedia.org). Il comprend environ
22 000 articles terminologiques correspondant chacun à un concept (une notion). Ces articles
terminologiques sont répartis dans environ 90 parties, chacune correspondant à un domaine
donné.
EXEMPLE
Partie 161 (IEC 60050-161): Compatibilité électromagnétique
Partie 411 (IEC 60050-411): Machines tournantes
Les articles terminologiques suivent un schéma de classification hiérarchique
partie/section/concept, les articles terminologiques étant, au sein des sections, classés dans
un ordre systématique.
Les termes et définitions (et éventuellement les représentations non verbales, exemples,
notes à l'article et sources) sont donnés dans deux des trois langues de l’IEC ou dans les
trois, c’est-à-dire français, anglais et russe (langues principales de l'IEV).
Dans chaque article terminologique, les termes seuls sont également donnés dans plusieurs
des langues additionnelles de l'IEV [arabe (ar), tchèque (cs), allemand (de), espagnol (es),
finnois (fi), italien (it), japonais (ja), coréen (ko), norvégien [bokmål (nb) et nynorsk (nn)],
polonais (pl), portugais (pt), slovène (sl), serbe (sr), suédois (sv) et chinois (zh)].
Des informations concernant l'IEV, la rédaction ainsi que la présentation des articles
terminologiques sont fournies dans le Supplément de l'IEC aux Directives ISO/IEC, à
l'Annexe SK. Un résumé de ces règles est donné ci-dessous.
Constitution d’un article terminologique
Chacun des articles terminologique correspond à un concept, et comprend:
- un numéro IEV,
- éventuellement un symbole littéral de grandeur ou d’unité,
puis, pour chaque langue principale de l'IEV présente dans la partie:
- le terme désignant le concept, appelé "terme privilégié", éventuellement accompagné
de synonymes et d’abréviations,
- la définition du concept,

---------------------- Page: 13 ----------------------
– XII – IEC 60050-523:2018 © IEC 2018
- éventuellement des représentations non verbales, des exemples et des notes à
l’article,
- éventuellement la source,
et enfin, pour les langues additionnelles de l'IEV, les termes seuls.
Numéro IEV
Le numéro IEV comprend trois éléments, séparés par des traits d’union:
numéro de partie: 3 chiffres,
numéro de section: 2 chiffres,
numéro d'article: série de chiffres décimaux dans laquelle les zéro initiaux sont permis
mais superflus (par exemple 1 à 113, 01 à 99, 001 à 127).
EXEMPLE  845-27-003
Symboles littéraux de grandeurs et d’unités
Ces symboles, indépendants de la langue, sont donnés sur une ligne séparée suivant le
numéro IEV.
EXEMPLE
131-12-04
R
résistance, f
Terme privilégié et synonymes
Le terme privilégié est le terme qui figure en tête d’un article dans une langue donnée; il peut
être suivi par des synonymes. Il est imprimé en gras.
Synonymes:
Les synonymes sont imprimés sur des lignes séparées sous le terme privilégié: les
synonymes privilégiés sont imprimés en gras, et les synonymes admis et déconseillés sont
imprimés en maigre. Les synonymes déconseillés sont précédés par le texte
"DÉCONSEILLÉ:".
Absence de terme approprié:
Lorsqu’il n’existe pas de terme approprié dans une langue, le terme privilégié est remplacé
par cinq points, comme ceci:
.....
" " (et il n’y a alors bien entendu pas de synonymes).

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IEC 60050-523:2018 © IEC 2018 – XIII –
Attributs
Chaque terme (et synonyme) peut être suivi d’attributs donnant des informations
supplémentaires; ces attributs sont imprimés en maigre, à la suite de ce terme, et sur la
même ligne.
EXEMPLE
spécificité d’utilisation du terme:
rang,
variante nationale:
unité de traitement, CA
catégorie grammaticale:
quantifier, verbe
électronique, f
électronique, adj
Source
Dans certains cas, il a été nécessaire d’inclure dans une partie de l'IEV un concept pris dans
une autre partie de l'IEV, ou dans un autre document de terminologie faisant autorité
(Guide ISO/IEC 99, ISO/IEC 2382, etc.), avec ou sans modification de la définition (ou
éventuellement du terme).
Ceci est indiqué par la mention de cette source, imprimée en maigre et placée à l
...

Questions, Comments and Discussion

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